浙江迈创微电子技术有限公司研发流片服务

功能平台

研发流片服务

浙江迈创微电子技术有限公司拥有一条12英寸的完整后段工艺中试线，具备从研发到小规模量产的全套能力，可为合作伙伴提供全方位的流片及工艺开发服务，通过提升运营效率，汇聚采购需求，提高议价能力，显著降低客户成本和缩短客户芯片研发周期。

服务项目：

（1）无图案的介质薄膜沉积：如TEOS，SiN，LTO等

（2）无图案的金属薄膜沉积：如Ta/TaN，Ti/TiN，Al，Cu，Co，CoFe，Ru等

（3）光刻材料涂布：如光刻胶、BARC、SOC等

（4）无图案的结构片加工：根据合作伙伴需求，提供多层膜的结构片加工及在线工艺检测服务

（5）图案化的结构片加工：根据合作伙伴需求，提供图案设计、光罩设计、图案化加工及在线工艺检测等多种服务和支持

（6）工艺的平台化技术服务，包括工艺定制、良率提升等。